- 展商名称：中微半导体设备(上海)有限公司
- 展位号：4B047
- 网址：www.amec-inc.com
- 展品类别：集成电路与半导体分立器件/光电子器件生产设备
公司简介
中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于45纳米到1X纳米及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。目前，正在亚洲地区30多条国际领先的生产线上运行的中微刻蚀反应台已超过400个。中微开发的用于大批量LED外延片生产和功率器件生产的MOCVD设备也已经在国内多条生产线上正常运行。更多信息请访问公司网站：www.amec-inc.com
展品
用于半导体照明芯片生产的金属有机化合物气相沉积（MOCVD）设备
类别：集成电路与半导体分立器件/光电子器件生产设备
特点：中微的Prismo D-Blue® MOCVD设备可以实现氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量生产，这些超薄层结构对于高亮度LED是必需的。中微的MOCVD设备不仅具有精准的参数控制、全自动化处理和独特的紧凑设计等特点，而且拥有高生产率、高产能和低成本投入，是LED芯片制造过程中必不可少的新一代MOCVD设备。目前已申请100多项专利（包括授权和未授权专利）以保护其独特的创新性。用它生长的单层外延材料性能及均匀性均已达到国际领先水平。
型号：Prismo D-Blue®
典型应用：该设备主要用于大批量LED外延片和功率器件的生产。
特点：中微的Prismo D-Blue® MOCVD设备可以实现氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量生产，这些超薄层结构对于高亮度LED是必需的。中微的MOCVD设备不仅具有精准的参数控制、全自动化处理和独特的紧凑设计等特点，而且拥有高生产率、高产能和低成本投入，是LED芯片制造过程中必不可少的新一代MOCVD设备。目前已申请100多项专利（包括授权和未授权专利）以保护其独特的创新性。用它生长的单层外延材料性能及均匀性均已达到国际领先水平。
型号：Prismo D-Blue®
典型应用：该设备主要用于大批量LED外延片和功率器件的生产。
